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一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺[发明专利]

2020-10-24 来源:汇意旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺专利类型:发明专利

发明人:颜颉颃,崔鹏,张华利,高源,石宗杰,张欣申请号:CN201310441193.X申请日:20130925公开号:CN103508661A公开日:20140115

摘要:本发明公开了一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺,包括以下步骤:(1)按照常规工艺制作石英陶瓷裸埚,将石英陶瓷裸埚置于加热器上进行加热;(2)将氢氧化钡粉末溶解于纯水或无水乙醇中,加热使其完全融化制得氢氧化钡溶液;(3)当石英陶瓷裸埚被加热至50-60℃时,将制备好的氢氧化钡溶液均匀的喷涂于石英陶瓷裸埚内底部和四壁,喷涂完后得到具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚;(4)配置氮化硅悬浮液;(5)将配置好的氮化硅悬浮液均匀的喷涂在具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚内底部和四壁即得。采用本发明工艺制备的石英陶瓷坩埚可有效减少石英陶瓷坩埚内杂质元素向硅锭内部扩散,提高硅锭少子寿命,减少硅片制成电池片后EL检测黑边比例,提高其光电转化效率。

申请人:晶海洋半导体材料(东海)有限公司

地址:222300 江苏省连云港市东海县经济开发区西区(铁路南侧、湖东路东侧)

国籍:CN

代理机构:广州知友专利商标代理有限公司

代理人:李海波

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